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大宗氣體過濾器
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高純大流量過濾器_大宗氣體過濾器3納米5納米

  • 在半導(dǎo)體制造的超高純工藝中,氣體純度直接決定芯片良率。深圳恒歌推出的 BF 系列大宗氣體專用過濾器,正是為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾量身定制的核心設(shè)備。
  • 產(chǎn)品詳情

在半導(dǎo)體制造的超高純工藝中,氣體純度直接決定芯片良率。深圳恒歌推出的 BF 系列大宗氣體專用過濾器,正是為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾量身定制的核心設(shè)備。

作為大宗氣體過濾器的標(biāo)桿產(chǎn)品,其采用全 316L 不銹鋼精密打造,從材質(zhì)源頭確保無雜質(zhì)釋放,完美適配嚴(yán)苛的半導(dǎo)體潔凈環(huán)境。多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計(jì)是其關(guān)鍵優(yōu)勢,既能實(shí)現(xiàn)高流通量,滿足大產(chǎn)能生產(chǎn)線的氣體供應(yīng)需求,又能保持低阻損,避免因過濾環(huán)節(jié)影響工藝穩(wěn)定性。針對(duì)不同客戶的生產(chǎn)線布局與工藝參數(shù),有特殊需求可定制加工,進(jìn)一步提升設(shè)備與生產(chǎn)環(huán)境的適配性。

產(chǎn)品特點(diǎn):

● 整體 316L 不銹鋼結(jié)構(gòu),杜絕二次污染

● 高通量、低阻力,適配大產(chǎn)能生產(chǎn)需求

● 過濾精度達(dá) 0.003μm,超高顆粒攔截率

● 耐高溫高壓,應(yīng)對(duì)復(fù)雜工藝環(huán)境

● 100% 完整性與氨氣檢漏測試

● 支持定制加工,滿足特殊需求

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