在半導(dǎo)體制造過程中,氣體的純度是影響產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵因素之一。深圳恒歌的BF系列大宗氣體專用過濾器,專為超高純工藝氣體在線過濾而設(shè)計,能夠有效去除氣體中的雜質(zhì),確保氣體的超高純度。
產(chǎn)品特點(diǎn)
● 超高精度過濾:過濾精度高達(dá)0.003μm,能夠攔截氣體中的微小顆粒,確保氣體的純凈度,滿足半導(dǎo)體制造對氣體純度的嚴(yán)格要求。
● 高效通量設(shè)計:采用多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計,確保在高流通量下保持低阻損,保障氣體的順暢輸送,提高生產(chǎn)效率。
● 耐高溫高壓:整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu),耐高溫、耐高壓,適用于高溫動態(tài)環(huán)境,是半導(dǎo)體潔凈室制造、測試和包裝的理想選擇。
● 廣泛適用性:適用于多種工藝氣體,無論是氮?dú)?、氬氣還是其他特種氣體,都能有效過濾,確保氣體的純凈度。
● 嚴(yán)格質(zhì)量檢測:100%完整性測試和100%氨氣檢漏測試,確保每一臺過濾器都符合最高質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。
深圳恒歌的BF系列大宗氣體過濾器,憑借其卓越的性能和可靠的品質(zhì),為半導(dǎo)體制造提供了純凈的氣體供應(yīng),助力客戶實現(xiàn)高效、穩(wěn)定的生產(chǎn)。